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| 型号 | RQVMM-3020/T | RQVMM-4030/T | RQVMM-5040/T | RQVMM-6050/T |
| 测量行程 | 300*200*200 | 400*300*200 | 500*400*200 | 600*500*200 |
| 外形尺寸 | 660*560*960 | 660*560*960 | 760*660*960 | 860*760*960 |
| 整机重量 | 240 | 290 | 340 | 560 |
| 仪器测量精度 | ≤(2.5+L/200)μm | |||
| 操作方式 | 全自动化控制手柄操作 | |||
| 三轴控制系统 | 德国布鲁克直流精密伺服电机驱动(带抱闸) | |||
| 光栅分辨率 | 0.5μm | |||
| 放大倍率 | 光学放大倍率 0.7X-4.5X、影像放大倍率 20-180X(可定制) | |||
| 成像系统 | 海康威视千兆高速光纤数字相机(不需要搭载视频卡更清晰) | |||
| 镜头 | 普密斯 6.5:1 自动变倍镜头 | |||
| 导轨 | 台湾 HIWIN 精密级平行交叉导轨 X/Y/Z 轴 | |||
| 传动 | 台湾 HIWIN 研磨级滚珠丝杠 | |||