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2207型表面粗糙度轮廓测量仪主要技术指标:
1.测量原理:垂直方向:触针法,电感传感器;
水平方向:光栅传感器;
2.测量范围:垂直400μm,水平100mm;
3.表面粗糙度示值误差:≤±5%;
轮廓度示值误差:垂直≤0.25%,水平≤0.004%;
4.最小分辨力:垂直0.6 nm,水平1μm;
5.取样长度:0.08,0.25,0.8,2.5,8mm;
6. 评定长度:N倍取样长度,N=1,2,3,4,5;
7. 数字滤波器:高斯、2RC、PC、不滤波;
8.粗糙度测量参数:Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq,Rmr;
波纹度测量参数:Wa,Wc,Wp,Wv,Wz,Wq,Wsm,Wt,Wsk,Wku,Wdq,Wmr;
原始轮廓测量参数:Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq,Pmr;
直线度测量系统测量参数:|X2-X1|,|Y2-Y1|;
9.轮廓图形的垂直放大倍率:最大100000倍无级连续放大;
轮廓图形的水平放大倍率:最大50000倍无级连续放大;
10.驱动箱滑行长度:100mm;
11.驱动速度:0.1,0.2,0.5,0.8,1.0mm/s;
返回速度:1.5mm/s;
12.传感器返回形式:手动,自动;
13.基准导轨的直线性:1μm/100mm;
14.传感器测针:金刚石圆锥,锥角90°,针尖半径2μm;
15.立柱结构:快慢速机动升降系统,自动对准零位;
16.立柱垂直测量高度:290mm;
17.工作底台:460mm×620mm大理石平台;