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CX-3/160粗糙度轮廓仪技术参数:
A\粗糙度测量
1、评定参数:Ra Ry Rz Rt Rq Rp Rv Rmax S Sm tp
2、测量范围:Ra0.01μm-10μm
3、触针位移:±500μm
4、分 辩 率:0.001μm
5、示值误差:≤3%±5nm
B\轮廓测量
1、使用范围:X:0-160mm Z:0-550mm
2、测量范围:X:0-160mm Z:±6mm(可选配±10mm或±15mm)
3、分 辩 率:0.001μm、0.1μm
4、半经误差: 0.1% - 0.8%